芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运

上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场，标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。 [原文链接]